در ساخت نیمه هادی های نیمه هادی، دقت و نرخ بازده همه چیز هستند. یک مرکز مونتاژ و بسته بندی برتر میکروالکترونیک در طول فرآیند تاس ویفر با مشکلات ریز ترک خوردگی و دای فلای مواجه شد. مقصر یک سیستم فرابنفش فرابنفش جیوه منسوخ بود که پخت غیریکنواخت و استرس حرارتی بیش از حد را بر روی نوارهای برش UV فوق نازک ایجاد می کرد.

آن‌ها با ما همکاری کردند تا پیشرفته‌ترین فناوری‌هایمان را یکپارچه کنیمسیستم پخت LED UV درجه نیمه هادی. ارتقاء منجر به یک99.98٪ نرخ بازده ویفر مکعبی، تغییر شکل حرارتی صفر در ویفرهای نازک و کاهش شدید زمان چرخه.

مشتری ویفرهای سیلیکونی 8 اینچی و 12 اینچی را تا ضخامت کمتر از 100 میکرومتر پردازش می کند. در طول فرآیند تاس ویفر (اره کردن/قطعه‌زنی مخفیانه)،نوار ماوراء بنفشبرای محکم کردن تراشه ها روی قاب اعمال می شود. پس از قطعه قطعه کردن، نوار باید در معرض نور ماوراء بنفش دقیق قرار گیرد تا چسبندگی آن کاهش یابد، تا قالب های ظریف تمیز و بدون هیچ گونه باقی مانده چسب یا آسیب ساختاری برداشته شوند.

راه اندازی سنتی لامپ جیوه ای آنها موانع مهمی را ایجاد کرد:

• تابش حرارتی بالا:لامپ‌های جیوه گرمای شدید مادون قرمز (IR) تولید می‌کنند که باعث می‌شود ویفرهای نازک تاب خورده و نوار UV به‌موقع تجزیه یا ذوب شود.

• تابش غیر یکنواخت:توزیع نابرابر اشعه ماوراء بنفش به این معنی است که برخی از نواحی نوار چسبندگی بالایی دارند، که منجر به ترک خوردگی قالب‌ها یا "مرگ پرنده" در مرحله انتخاب و جاسازی خودکار می‌شود.

• تعویض مکرر لامپ:لامپ‌های جیوه استاندارد به سرعت پوسیده می‌شوند و باعث دوز ناپایدار UV می‌شوند که نیاز به کالیبراسیون مجدد و قطع تولید دائمی دارد.

برای رعایت محدودیت‌های کنترل آلودگی و دما در اتاق تمیز کلاس 100، تیم مهندسی ما سفارشی ما را به کار گرفت.سیستم پخت UV LED نیمه هادی آب خنک (طول موج 365 نانومتر، شدت قابل تنظیم تا 15 W/cm^2).

[نصب ویفر روی نوار UV] ➔ [قطعه بری/اره کردن دقیق] ➔ [قرار گرفتن در معرض نور UV فوری سرد UV (365 نانومتر)] ➔ [انتقال قالب تمیز، بدون پسماند]

سیستم نیمه هادی UV LED تخصصی ما ارتقاهای فنی فوری را ارائه می دهد:

• • عمل آوری سرد واقعی (دمای زیرلایه <30 درجه سانتیگراد):با حذف کامل طول موج های مادون قرمز، سیستم UV LED ما از نازک ترین معماری های سیلیکونی و قاب های ویفر حساس به دما در برابر اعوجاج گرما محافظت می کند.

  • یکنواختی نوری بی عیب و نقص:این سیستم با استفاده از اپتیک کوارتز مهندسی شده سفارشی، یک میدان UV بیش از 95٪ یکنواخت را در کل منطقه 12 اینچی در معرض قرار می دهد. این کاهش چسبندگی کاملاً ثابت را در هر قالب روی نوار تضمین می کند.

  • خنک کننده مایع سازگار با اتاق تمیز:طراحی کاملاً مهر و موم شده و خنک‌شده با آب از تلاطم هوا و تولید ذرات جلوگیری می‌کند و آن را کاملاً با استانداردهای دقیق اتاق تمیز سازگار می‌کند.

انتقال به سیستم پخت صنعتی UV LED، کارایی مونتاژ پشتی مشتری را دوباره تعریف کرد:

• 99.98٪ بازده قطعه قطعه:وانت دای تمیز به صفر باقی مانده چسب و حذف ریز ترک خوردگی مکانیکی در تمام دسته های تولیدی دست یافت.

• پردازش فوری و توان عملیاتی بالاتر:بدون نیاز به چرخه گرم کردن یا خنک کردن. این سیستم دوز کامل UV را به صورت آنی ارائه می دهد و زمان چرخه تابش نوار را کاهش می دهد.45%.

• پایداری و طول عمر بی نظیر:با طول عمر بیش از حد20000 ساعت، سیستم UV LED ماه به ماه شدت UV یکسان را ارائه می دهد و افت عملکرد غیر قابل پیش بینی را از بین می برد.

بازخورد مدیر کارخانه: "ارتقا به این سیستم UV LED صنعتی مشکلات طولانی مدت ما در تاب برداشتن ویفر را حل کرد. کاهش چسبندگی کاملا یکنواخت است، عملکرد انتخاب و جابجایی ما به اوج خود رسیده است و زمان تعمیر و نگهداری عملاً به صفر رسیده است."

خط مونتاژ نیمه هادی خود را تقویت کنید

آیا به دنبال حذف ریزترک‌ها، ایمن‌سازی پخش نوار UV دقیق و محافظت از ویفرهای شکننده در برابر استرس گرمایی هستید؟ به طور مستقیم با یک سازنده باتجربه کیورینگ UV شریک شوید. تیم مهندسی ما راه حل های سفارشی UV LED با یکنواختی بالا را برای مشخصات اتاق تمیز و خطوط اتوماسیون شما طراحی می کند.

• [راه‌حل‌های نیمه‌رسانا و پخت ویفر UV LED ما را کاوش کنید]